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·平面不大于0.05mm/m
·表面粗糙度小于0.8um
·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
·振幅不大于1.2um
·重复定位精度±0.05mm
永兴感知隔振平台选型参数表
型号
台面尺寸(mm)
支撑方式及孔位
YXpT-C06-06
600×600
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C075-075
750×750
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C09-06
600×900
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C10-07
700×1000
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C10-08
800×1000
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C12-08
800×1200
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C15-09
900×1500
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C15-10
1000×1500
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C16-09
900×1600
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C18-12
1200×1800
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C20-10
1000×2000
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C20-12
1200×2000
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C24-12
1200×2400
4支撑 M6螺孔阵距25
YXpT-C30-10
1000×3000
6支撑 M6螺孔阵距50
YXpT-C30-12
1200×3000
6支撑 M6螺孔阵距50
YXpT-C30-15
1500×3000
6支撑 M6螺孔阵距50
YXpT-C35-12
1200×3500
4支撑 M6螺孔阵距50
YXpT-C35-15
1500×3500
6支撑 M6螺孔阵距50
YXpT-C40-15
1500×4000
6支撑 M6螺孔阵距100
YXpT-C42-15
1500×4200
6支撑 M6螺孔阵距100
YXpT-C48-15
1500×4800
8支撑 M6螺孔阵距100
YXpT-C54-15
1500×5400
8支撑 M6螺孔阵距100
YXpT-C60-15
1500×6000
8支撑 M6螺孔阵距100
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